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台积电通告2020年年报,揭破先进制程进度,其中3奈米鳍式场效电晶体制程开发领先全球,同时针对行动通讯与高效能运算应用提供优化制程,预计2022年下半年量产。2奈米去年完成劈头研究及路径寻找,今年研发阶段着重于测试键与测试载具的设计与实作,同时进入极紫外光光罩制作及矽试产阶段。

台积电延续投资研究与开发,去年整年研发总预算约占总营收8.2%且来到1,095亿元,此一研发投资规模相当或逾越了许多其他高科技向导公司的规模。

台积电的3奈米手艺作为第六代三维电晶体手艺平台,延续周全开发,并与主要客户完成矽智财设计及更先举行验证的同时,台积电已更先周全开发领先半导体业界的2奈米手艺,同时针对2奈米以下的手艺举行探索性研究。

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台积电示意,3奈米FinFET手艺开发遵照计画举行并有很好的希望。此一领先全球的手艺同时针对行动通讯与HPC应用提供优化的制程,预期今年将接获多个客户产物投片,预计明年下半年更先量产。相较于5奈米手艺,3奈米逻辑密度将增添70%,效能提升15%,而且功耗降低30%。

台积电去年完成2奈米劈头研究及路径寻找之后,今年2奈米制程手艺的研发阶段,着重于测试键与测试载具之设计与实作、光罩制作及矽试产。而在微影手艺及光罩手艺部门,台积电今年在2奈米及更先进制程上将着重于改善EUV微影手艺的品质与成本,并延续精进EUV光罩手艺以知足2奈米微影手艺在光罩上的需求。

台积电5奈米领先量产,去年已更先为苹果等多家客户量产行动通讯及HPC相关晶片,5奈米强效版采相同设计准则,去年底台积电已接获多个客户产物投片,并预计今年举行N5P手艺量产。

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